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■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-300W高功率機(jī)型，發(fā)生器自動匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進(jìn)一步增加的操作的便捷性。
●標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實(shí)時顯示真空度，使得控制更為精確。
●平行平板腔體非常適合于實(shí)驗(yàn)室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔(dān)憂因?yàn)榍惑w材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?nbsp;
■ 保護(hù)
●裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報(bào)警燈，可實(shí)時監(jiān)測和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。
●裝載有過電流漏電保護(hù)開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報(bào)警等安全功能。
■產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機(jī)清洗效果好，清洗效率高，功率大，
●對清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達(dá)到常溫處理。
● 電極， 產(chǎn)生均勻等離子體 。
● 電極和托盤結(jié)構(gòu)， 樣品可得到 清洗。
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)PDC510
雅馬拓產(chǎn)品報(bào)價：0.00
適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。
| 屬性 | 參數(shù) |
| 型號 | PDC510 |
| 等離子模式 | RIE/DP |
| 電極構(gòu)造 | 平行平板（固定） |
| 高頻輸出 | Max500W |
| 頻率 | 13.56MHz |
| 控制?顯示 | 液晶觸摸屏 |
| 反應(yīng)室尺寸 | W500 x D300 x H200mm |
| 電極尺寸 | W400 x D200mm |
| 反應(yīng)室材質(zhì) | 鋁 |
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（Ar、O2） |
| 填充氣體 | N2或干燥空氣 |
| 反應(yīng)氣體流量控制 | 聚合控制器 |
| 真空泵 | 油泵（約500L/分）標(biāo)配 |
| 氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個 |
| 外形尺寸 | W700 x D700 x H1285mm |
| 重量 | 約 180kg |
| 電源 | 三相AC200V8A |
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